新型长晶炉

摘要

本实用新型公开了一种新型长晶炉，包括：炉体；位于所述炉体内的加热器，以及位于所述加热器热场内的坩埚，所述加热器包括上加热器和侧边加热器，所述上加热器位于所述坩埚的顶端，所述侧边加热器形成于所述坩埚的四周，所述上加热器的总功率大于所述侧边加热器的总功率。本实用新型通过调整上加热器和/或侧边加热器的电阻，以满足上加热器的总功率大于侧边加热器的总功率，最终达到多晶炉铸碇工艺提升所需的相对温差。因此，在熔化及长晶步骤时，上部相对热，侧边相对冷的情况下来降低坩埚本身杂质进入硅液或硅碇的浓度，并且维持整体加热器的加热效率。

主权项

一种长晶炉，其特征在于，包括：炉体；位于所述炉体内的加热器，以及位于所述加热器热场内的坩埚，所述加热器包括上加热器和侧边加热器，所述上加热器位于所述坩埚的顶端，所述侧边加热器形成于所述坩埚的四周，所述上加热器的总功率大于所述侧边加热器的总功率。