APPARATUS TO CLEAN SUBSTRATE,申请号KR20120139732-传众专利搜索

发明名称	APPARATUS TO CLEAN SUBSTRATE
摘要
申请公布号	KR101407390(B1)	申请公布日期	2014.06.17
申请号	KR20120139732	申请日期	2012.12.04
申请人		发明人
分类号	H01L21/02;H01L21/302	主分类号	H01L21/02
代理机构		代理人
主权项
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