发明名称 |
DISPOSITIF DE PHOTO REFLECTANCE |
摘要 |
L'invention concerne un dispositif de photoréflectance (1) pour la caractérisation d'une surface rugueuse comportant : - Des moyens d'émission (2) d'un faisceau pompe (3) ; - Des moyens d'émission (8) d'un faisceau sonde (11); - Des moyens de détection (14) du faisceau sonde réfléchi par la surface; - Une sphère intégrante (13) apte à collecter le faisceau sonde réfléchi par la surface, la sphère intégrante comportant : - une première sortie (15) reliée aux moyens de détection (14), et disposée de façon à recevoir une majorité du faisceau sonde (11) réfléchi par la surface (4); - une deuxième sortie (16) agencée de façon à recevoir une majorité du faisceau pompe (3) réfléchi par la surface. |
申请公布号 |
FR2999289(A1) |
申请公布日期 |
2014.06.13 |
申请号 |
FR20120061870 |
申请日期 |
2012.12.11 |
申请人 |
NEXCIS;UNIVERSITE D'AIX-MARSEILLE |
发明人 |
MOREAU ANTONIN;BERMUDEZ VERONICA;ESCOUBAS LUDOVIC;SIMON JEAN-JACQUES |
分类号 |
G01N21/55;G01B11/30;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/55 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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