发明名称 DISPOSITIF DE PHOTO REFLECTANCE
摘要 L'invention concerne un dispositif de photoréflectance (1) pour la caractérisation d'une surface rugueuse comportant : - Des moyens d'émission (2) d'un faisceau pompe (3) ; - Des moyens d'émission (8) d'un faisceau sonde (11); - Des moyens de détection (14) du faisceau sonde réfléchi par la surface; - Une sphère intégrante (13) apte à collecter le faisceau sonde réfléchi par la surface, la sphère intégrante comportant : - une première sortie (15) reliée aux moyens de détection (14), et disposée de façon à recevoir une majorité du faisceau sonde (11) réfléchi par la surface (4); - une deuxième sortie (16) agencée de façon à recevoir une majorité du faisceau pompe (3) réfléchi par la surface.
申请公布号 FR2999289(A1) 申请公布日期 2014.06.13
申请号 FR20120061870 申请日期 2012.12.11
申请人 NEXCIS;UNIVERSITE D'AIX-MARSEILLE 发明人 MOREAU ANTONIN;BERMUDEZ VERONICA;ESCOUBAS LUDOVIC;SIMON JEAN-JACQUES
分类号 G01N21/55;G01B11/30;H01L21/66 主分类号 G01N21/55
代理机构 代理人
主权项
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