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<p>Eine Vorrichtung zur Korrektur chromatischer Aberration wird angeboten, welche Aberration korrigieren kann, indem sie effizient negative chromatische Aberration erzeugt. Die Vorrichtung zur Korrektur chromatischer Aberration (100) enthält ein erstes Multipol-Element (110) zum Erzeugen eines ersten elektromagnetischen Felds und ein zweites Multipol-Element (120) zum Erzeugen eines zweiten elektromagnetischen Felds. Das erste Multipol-Element (110) enthält einen ersten Teil (110a), einen zweiten Teil (110b) und einen dritten Teil (110c), welche entlang einer optischen Achse (OA) angeordnet sind. Jeder des ersten, zweiten und dritten Teils (110a, 110b, 110c) hat eine Dicke und erzeugt ein Quadrupolfeld, in welchem ein elektrisches Quadrupolfeld und ein magnetisches Quadrupolfeld überlagert sind. Im ersten Teil (110a) ist das elektrische Quadrupolfeld stärker als das magnetische Quadrupolfeld eingestellt. Im zweiten Teil (110b) ist das magnetische Quadrupolfeld stärker als das elektrische Quadrupolfeld eingestellt. Im dritten Teil (110c) ist das elektrische Quadrupolfeld stärker als das magnetische Quadrupolfeld eingestellt. Der zweite Teil (110b) erzeugt eine Zweifach-Astigmatismus-Komponente, welche durch den ersten Teil (110a) und den dritten Teil (110c) erzeugten Zweifach-Astigmatismus-Komponenten im Vorzeichen entgegengesetzt ist. Das zweite elektromagnetische Feld ist bezüglich des ersten elektromagnetischen Felds um 90 Grad um die optische Achse verdreht.</p> |
