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Ein Konturformmessverfahren ist geschaffen worden, das genau einen zu messenden Gegenstand zu einer vorbestimmten Position ausrichten kann, um eine Hochpräzisionsauswertung sogar in einem Zustand zu ermöglichen, bei dem eine Sensormessachse und eine Tischdrehachse nicht mit einer ausreichenden Genauigkeit übereinstimmen. Eine räumliche Position der Tischdrehachse relativ zu der Sensormessachse wird als ein Drehachsenvektor erlangt. Die Ausrichtdaten, die in zumindest zwei Richtungen erlangt werden, werden um den Drehachsenvektor koordinatentransformiert, um synthetisierte Ausrichtdaten zu bilden. Der Gegenstand wird auf der Basis der synthetisierten Ausrichtdaten ausgerichtet. Da dreidimensionale Daten einer zu messenden Fläche des Gegenstands berechnet werden können, kann der Gegenstand direkt zu der Sensormessachse ausgerichtet werden. |
