发明名称 Verfahren zur Kontaktierung eines Halbleiters und Halbleiterbauelement mit erhöhter Stabilität gegenüber thermomechanischen Einflüssen
摘要 Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur elektrischen Kontaktierung eines Halbleiters (1) als erstem Fügepartner mit einem Kontaktelement (7) als zweitem Fügepartner gekennzeichnet durch die Schritte A) Aufbringen eines Sinterwerkstoffs zur Ausbildung einer schweißbaren Sinterschicht (2) auf eine Oberseite des Halbleiters (1), B) im Wesentlichen druckfreies Sintern unter Ausbildung einer schweißbaren Sinterschicht (2) auf der Oberseite des Halbleiters (1), C) Bestücken der ausgebildeten Sinterschicht (2) mit dem Kontaktelement (7), D) im Wesentlichen druckfreie Ausbildung eines Stoffschlusses und der elektrischen Kontaktierung zwischen der Oberseite des Halbleiters (1) und dem Kontaktelement (7). Die Erfindung betrifft weiterhin ein Halbleiterbauelement (10), insbesondere hergestellt nach dem erfindungsgemäßen Verfahren.
申请公布号 DE102012222791(A1) 申请公布日期 2014.06.12
申请号 DE201210222791 申请日期 2012.12.11
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 GÜNTHER, MICHAEL
分类号 H01L21/60;H01L21/28;H01L23/482;H05K3/32;H05K13/04 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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