发明名称 |
振子以及电子设备 |
摘要 |
本发明提供振子以及电子设备。作为课题,提供了如下这样的振子:其能够进一步小型化,并且振动泄漏少,能够在制造工序中不导致可动电极产生粘连的情况下,稳定地进行制造。MEMS振子(100)具有:基板(1);固定部(23),其设置在基板(1)的主面上;从固定部(23)延伸出的支撑部(22);以及上部电极(21)(振动体),其以与基板(1)相离的方式被支撑部(22)支撑,上部电极(21)在由于从上部电极(21)的周缘部朝向上部电极(21)的部形成的缺口部(30)而露出的上部电极(21)的侧面部中的、从所述部面向所述周缘部的方向的侧面(31)上具有被连接部,被连接部与支撑部(22)相连。 |
申请公布号 |
CN103856184A |
申请公布日期 |
2014.06.11 |
申请号 |
CN201310566481.8 |
申请日期 |
2013.11.14 |
申请人 |
精工爱普生株式会社 |
发明人 |
木原龙儿;矢岛有继 |
分类号 |
H03H9/24(2006.01)I;H03H9/02(2006.01)I |
主分类号 |
H03H9/24(2006.01)I |
代理机构 |
北京三友知识产权代理有限公司 11127 |
代理人 |
李辉;黄纶伟 |
主权项 |
一种振子,其特征在于,具有:基板;固定部,其设置在所述基板的主面上;从所述固定部延伸出的支撑部;以及振动体,其以与所述基板相离的方式被所述支撑部支撑,所述振动体具有:从所述振动体的周缘部朝向所述振动体的中央部设置的缺口部;以及被连接部,其设置于与所述缺口部对应的位置处,所述被连接部与所述支撑部相连。 |
地址 |
日本东京都 |