发明名称 半导体装置及其制造方法
摘要
申请公布号 TWI441339 申请公布日期 2014.06.11
申请号 TW100133692 申请日期 2011.09.20
申请人 东芝股份有限公司 日本 发明人 臼田宏治;手塚勉
分类号 H01L29/786;H01L21/336;H01L21/28 主分类号 H01L29/786
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 日本