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发明名称 制造基板之方法
摘要
申请公布号 TWI441279 申请公布日期 2014.06.11
申请号 TW098139942 申请日期 2009.11.24
申请人 美光科技公司 美国 发明人 西利士　史考特;珊得胡　高提杰Ｓ;迪菲利尔斯　安顿
分类号 H01L21/76;H01L21/027 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 美国
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