模块化过滤系统

摘要

本发明涉及一种模块化过滤系统，其使用可移除过滤器卡匣来过滤包含(例如)用于半导体制造中的液体的液体。过滤系统可包含：可移除过滤器卡匣，其具有过滤器入口端口及过滤器出口端口；过滤器卡匣固持器，其经配置以接纳及保持所述过滤器卡匣；及主组合件。所述主组合件可进一步包括经配置以接纳所述过滤器入口端口的过滤器入口界面端口及经配置以接纳所述过滤器出口端口的过滤器出口界面端口，且可界定流径以引导进出所述过滤器卡匣的流动。所述过滤器卡匣固持器可移动地耦合到所述主组合件，使得所述过滤器卡匣可相对于所述主组合件从未配接位置移动到配接位置。

主权项

一种用于过滤液体的过滤系统，其包括：非圆柱形的可移除过滤器卡匣，其具有过滤器入口端口及过滤器出口端口；过滤器卡匣固持器，其经配置以接纳及保持所述过滤器卡匣；及主组合件，其进一步包括经配置以接纳所述过滤器入口端口的过滤器入口界面端口及经配置以接纳所述过滤器出口端口的过滤器出口界面端口且界定流径以引导进出所述过滤器卡匣的流动；及其中所述过滤器卡匣固持器可移动地耦合到所述主组合件，使得所述过滤器卡匣可相对于所述主组合件从未配接位置移动到配接位置。