电荷陷阱器件的擦除方法

摘要

一种电荷陷阱器件的擦除方法，所述方法包括以下步骤：将第一擦除电压施加到电荷陷阱器件；将擦除验证电压施加到电荷陷阱器件；执行当前第一失败位检查操作，所述当前第一失败位检查操作包括将基于擦除验证电压判定的擦除失败的电荷陷阱器件的第一数目与第一参考值进行比较，并且基于比较结果来判定通过或失败；在当前第一失败位检查操作被判定成失败时，判定在上一擦除循环期间执行的上一第一失败位检查操作是否通过；以及在上一擦除循环期间执行的上一第一失败位检查操作通过时，将第三擦除电压设定成与在上一擦除循环期间利用的第二擦除电压相同的电平。

主权项

一种电荷陷阱器件的擦除方法，所述方法包括以下步骤：将第一擦除电压施加到所述电荷陷阱器件；将擦除验证电压施加到所述电荷陷阱器件；判定所述电荷陷阱器件的擦除状态；执行当前的第一失败位检查操作，所述当前的第一失败位检查操作包括将基于所述擦除验证电压判定为擦除失败的电荷陷阱器件的第一数目与第一参考值进行比较，并且基于比较的结果来判定通过或失败；在当前的第一失败位检查操作被判定成失败时，判定在上一擦除循环期间执行的上一第一失败位检查操作是否通过；以及在所述上一擦除循环期间执行的上一第一失败位检查操作通过时，将第三擦除电压设定成与在所述上一擦除循环期间使用的第二擦除电压相同的电平。