一种多晶硅铸锭炉

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅铸锭炉，包括：炉体、经过所述炉体底部的冷却水夹层、以及分别与所述冷却水夹层连通的冷却水进水口和冷却水出水口，其中，在所述冷却水进水口和冷却水出水口处分别设有三通阀用于导入或导出冷却水，并可连接外部大气，在所述炉体底部设有从外部开启的泄水阀，所述泄水阀与冷却水夹层接通。本实用新型的多晶硅铸锭炉在发生坩埚硅液泄漏时，可以及时将炉体夹层内的冷却水排空，从而杜绝了硅液泄漏后发生爆炸的危险。

主权项

一种多晶硅铸锭炉，包括：炉体(10)、经过所述炉体(10)底部的冷却水夹层(20)、以及分别与所述冷却水夹层(20)连通的冷却水进水口(30)和冷却水出水口(40)，其特征在于：所述多晶硅铸锭炉还包括：第一三通阀(50)和第二三通阀(60)；所述第一三通阀(50)的第一接口(501)与冷却水进水管道接通，第二接口(502)与所述冷却水进水口(30)接通，第三接口(503)与外部大气相连；所述第二三通阀(60)的第一接口(601)与所述冷却水出水口(40)接通，第二接口(602)与冷却水排水管道接通，第三接口(603)与外部大气相连；所述炉体(10)底部设有从炉体(10)外部开启的泄水阀(70)，所述泄水阀(70)与冷却水夹层(20)接通。