发明名称 |
用于电池和超电容器的多孔三维铜、锡、铜锡、铜锡钴、及铜锡钴钛电极 |
摘要 |
在此提供一种用于形成可靠且合乎经济效益的电池或电化学电容器电极结构的方法及设备,所述电极结构具有改善的寿命、较低的生产成本以及改善的工艺性能。在一个实施例中,提供一种用于形成电池或电化学单元的三维多孔电极的方法。所述方法包含通过扩散限制沉积工艺以第一电流密度在基板之上沉积圆柱状金属层;以及以大于该第一电流密度的第二电流密度在该圆柱状金属层之上沉积三维金属多孔树突状结构。 |
申请公布号 |
CN102379050B |
申请公布日期 |
2014.06.11 |
申请号 |
CN201080014859.8 |
申请日期 |
2010.01.29 |
申请人 |
应用材料公司 |
发明人 |
瑟奇·D·洛帕汀;德米特里·A·布列夫诺夫;罗伯特·Z·巴克拉克 |
分类号 |
H01M4/04(2006.01)I;H01M4/66(2006.01)I;H01G9/042(2006.01)I;H01M4/485(2006.01)I;H01M4/583(2006.01)I;H01M10/0525(2006.01)I |
主分类号 |
H01M4/04(2006.01)I |
代理机构 |
北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 |
代理人 |
徐金国;钟强 |
主权项 |
一种形成用于电化学单元的多孔三维电极微结构的方法,所述方法包含以下步骤:将基板放置在电镀溶液中;通过扩散限制沉积工艺以第一电流密度在所述基板之上沉积圆柱状金属层;以及以大于所述第一电流密度的第二电流密度在所述圆柱状金属层之上沉积多孔导电树突状结构;在所述多孔导电树突状结构上形成钝化层。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |