发明名称 具有薄的非金属薄膜间隙控制缓冲器之接合狭缝阀密封件
摘要
申请公布号 TWI440787 申请公布日期 2014.06.11
申请号 TW097131009 申请日期 2008.08.14
申请人 派克汉尼汾公司 美国 发明人 朱利安 卡米巴亚徐雅玛
分类号 F16K3/00;F16K51/02;H01L21/67 主分类号 F16K3/00
代理机构 代理人 陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼
主权项
地址 美国