| 发明名称 | 微流体输送系统 | ||
| 摘要 | 在一些已知的实施例中，将少量液体分配到工件上的方法包括为从纳米分配器中流出的液体提供显微通道。在一些实施例中，对液体进行分配包括使用具有至少一个延伸至尖端的缝隙的纳米分配器对液体进行分配。一些方法包括对蒸发速率和液体流速进行控制以建立产生希望尺寸的泡沫的平衡。 | ||
| 申请公布号 | CN103855083A | 申请公布日期 | 2014.06.11 |
| 申请号 | CN201310641651.4 | 申请日期 | 2013.12.03 |
| 申请人 | FEI 公司 | 发明人 | A.P.J.M.博特曼;S.兰多尔夫;M.W.乌特劳特 |
| 分类号 | H01L21/768(2006.01)I;H01L21/288(2006.01)I;C25D7/12(2006.01)I;C25F3/12(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/768(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人 | 马红梅;徐红燕 |
| 主权项 | 一种在真空室内对工件进行处理的方法，包括： 在真空室内在工件的表面上形成通道； 在第一位置上将液体分配到该通道内，该液体流过该通道到达该工件上的第二位置； 将带电粒子束引导至该工件上的该第二位置，该带电粒子束在该第二位置上与该液体进行反应以在该工件上形成结构。 | ||
| 地址 | 美国俄勒冈州 | ||