具有混合修整功能的化学机械抛光垫修整器及相关方法,申请号TW100115538-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	具有混合修整功能的化学机械抛光垫修整器及相关方法
摘要
申请公布号	TWI440527	申请公布日期	2014.06.11
申请号	TW100115538	申请日期	2011.05.04
申请人	宋健民新北市淡水区中正路32巷4号	发明人	宋健民
分类号	B24B53/12;B24B53/00	主分类号	B24B53/12
代理机构		代理人	桂齐恒台北市中山区长安东路2段112号9楼;林景郁台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项
地址	新北市淡水区中正路32巷4号

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