光配向光源系统及光配向工艺

摘要

本发明提供一种光配向光源系统及光配向工艺，该光配向光源系统对一第一基板及一第二基板进行光配向工艺，并包括一传输装置以及一光源模块。传输装置移动第一基板及第二基板。光源模块具有至少一发光元件，当传输装置移动第一基板及第二基板经过光源模块时，发光元件对第一基板分别进行第一次曝光及第二次曝光，及发光元件对第二基板分别进行第一次曝光及第二次曝光。其中，于进行第一基板的第一次曝光及第二基板的第一次曝光时，第一基板及第二基板的移动方向相反，或者于进行第一基板的第二次曝光及第二基板的第二次曝光时，第一基板及第二基板的移动方向相反。通过本发明，可有效利用光源模块降低光配向工艺的工站时间，以降低设备设置成本。

主权项

一种光配向光源系统，对一第一基板及一第二基板进行光配向工艺，其特征在于，所述光配向光源系统包括：一传输装置，移动所述第一基板及所述第二基板；以及一光源模块，具有至少一发光元件，当所述传输装置移动所述第一基板及所述第二基板经过所述光源模块时，所述发光元件对所述第一基板分别进行第一次曝光及第二次曝光，及所述发光元件对所述第二基板分别进行第一次曝光及第二次曝光，其中，于进行所述第一基板的第一次曝光及所述第二基板的第一次曝光时，所述第一基板及所述第二基板的移动方向相反，或者于进行所述第一基板的第二次曝光及所述第二基板的第二次曝光时，所述第一基板及所述第二基板的移动方向相反。