一种超光滑表面无损垂直装夹夹具

摘要

本实用新型属于光学薄膜掩膜技术，涉及一种超光滑表面无损垂直装夹夹具。所述超光滑表面无损垂直装夹夹具为一掩膜套，该掩膜套底部设置有用于镀膜的镀膜孔，侧壁内表面设置有与零件形状相匹配的凹陷，该凹陷对面的侧壁设置有用于安装顶丝的螺纹孔。掩膜套底部与侧壁连接处设置有用于支撑零件倒角的环形结构。本实用新型由于在零件装夹过程中采用了三点定位结构，零件固定牢靠，采用环形支撑结构，支撑点在零件的倒角处，避免了零件工作面的损伤，而且整个夹具采用抗溅射材料金属钛加工，在镀膜时不易污染膜面。

主权项

一种超光滑表面无损垂直装夹夹具，其特征在于，为一掩膜套，该掩膜套底部设置有用于镀膜的镀膜孔，侧壁内表面设置有于零件形状相匹配的凹陷，该凹陷对面的侧壁设置有用于安装顶丝的螺纹孔。