一种MOCVD石墨盘与反应室的连接结构

摘要

本实用新型提出的一种MOCVD石墨盘与反应室的连接结构，将反应室的旋转轴顶部改进为锥形结构，在石墨盘的底部设置一连接件，连接件上开设与旋转轴顶部形状相匹配的锥形通孔，从而使得石墨盘与旋转轴之间可以通过锥形结构精确定位，并且由于设置了连接件，可以很好地降低石墨盘的磨损，减少生产耗材。

主权项

一种MOCVD石墨盘与反应室的连接结构，包括石墨盘和设于反应室内的旋转轴，其特征在于，所述石墨盘底部设有一连接件，所述连接件包括一圆形底座、设于圆形底座上的一锥形凸台，所述石墨盘底部设有与连接件相匹配的凹槽，所述旋转轴的顶部为锥形结构，所述连接件的轴心处设有与旋转轴顶部相匹配的一锥形通孔。