主权项 |
一种利用等离子溅射制作掺氮石墨烯的方法,其特征在于该方法包括以下步骤: 步骤1:将反应基底依次在去离子水、丙酮和乙醇中分别超声清洗30分钟;步骤2:利用高纯气体将反应基底吹干并干燥静置5~10分钟;步骤3:将反应基底放入化学气相沉积装置,通入还原性气体,控制反应炉30分钟内升高至800~1100℃;步骤4:保持化学气相沉积装置高温运行40~80分钟,并向化学气相沉积装置中通入碳源气体;步骤5:控制化学气相沉积装置温度在5分钟内降至常温,取出生长完石墨烯的反应基底;步骤6:将反应基底放入等离子体溅射装置的反应腔体中,利用真空泵将反应腔体的真空环境控制在5mTorr以下;步骤7:向反应腔体中通入氮源气体,控制操作电压使氮源气体电离出等离子态的氮原子,整个等离子体放电过程持续5~25分钟;步骤8:将完成石墨烯掺氮的反应基底从等离子体溅射装置中取出,并放置在腐蚀溶液表面使反应基底完全腐蚀;步骤9:将掺氮的石墨烯转移至去离子水表面,静置清洗后得到干净的掺氮石墨烯;步骤1所述的反应基底为镍箔或者铜箔;步骤2所述的高纯气体为浓度99.999%以上的氮气或者氩气;步骤3所述的还原气体为氢气;步骤4所述的碳源气体为甲烷、乙炔或者丙烯;步骤7所述的氮源气体为氨气或者氮气;步骤8所述的腐蚀溶液为FeCl<sub>3</sub>或者Fe(NO<sub>3</sub>)<sub>3</sub>溶液。 |