一种添加冗余图形的方法

摘要

本发明提供了一种添加冗余图形的方法，包括：将版图分割成若干相同尺寸的子区域，计算每个子区域的原始密度值；将子区域分为若干组，将原始密度值相同或相近的子区域分为一组；选择要添加冗余图形的组；根据密度值，计算每个组中的子区域所要添加的冗余图形的尺寸；设定一个缩放比例值，将同一组的子区域内部的各个图形均以该缩放值进行缩放；计算子区域缩放后的密度值；计算子区域的原始密度值与缩放后的密度值之间的密度差；根据密度差的绝对值来调整冗余图形的尺寸；冗余图形的尺寸随所述密度差值的绝对值的增大而减小。本发明的方法，可以确保晶圆密度分布均匀，减小了版图和晶圆的密度分布差异，提高了平坦化程度。

主权项

一种添加冗余图形的方法，其特征在于，包括：步骤S01：将版图分割成若干相同尺寸的子区域，计算每个所述子区域的原始密度值；步骤S02：将所述子区域分为若干组，其中，将所述原始密度值相同或相近的所述子区域分为一组；步骤S03：选择要添加冗余图形的所述组；步骤S04：根据所述原始密度值，初步计算每个所述组中的所述子区域要添加的冗余图形的尺寸；步骤S05：设定一个缩放值，将同一个所述组中的所述子区域内部的各个图形均以所述缩放值进行缩放；步骤S06：计算所述子区域缩放后的密度值；步骤S07：计算所述子区域的所述原始密度值与所述缩放后的密度值之间的密度差；步骤S08：根据所述密度差的绝对值来调整所述冗余图形的尺寸；其中，所述冗余图形的尺寸随所述密度差值的绝对值的增大而减小。