偏振光感应型测光装置

摘要

本发明提供一种测光装置，能够以比现有技术少的测定次数取得测定对象的偏振光信息。具有以下构成：把从光源（101）射出的光分支成照射到测定对象（107）的检查光和不照射到测定对象的参照光，把检查光通过被测定对象反射或散射而得到的信号光分离成相互正交的两个偏振分量即第一分支信号光和第二分支信号光，使第一分支信号光和参照光输入到第一干涉光学系统（113a）而相干涉，生成相位关系相互不同的三个以上的干涉光，使第二分支信号光和上述参照光输入到第二干涉光学系统（113b）而相干涉，生成相位关系相互不同的三个以上的干涉光，检测出由第一干涉光学系统生成的干涉光和由第二干涉光学系统生成的干涉光。

主权项

一种测光装置，其特征在于，具有：光源；光分支部件，把从上述光源射出的光分支成照射到测定对象的检查光和不照射到测定对象的参照光；偏振光调整部件，能够调整上述检查光的偏振状态；偏振光分离部件，把上述检查光被测定对象反射或散射而得到的信号光分离成相互正交的两个偏振分量即第一分支信号光和第二分支信号光；第一干涉光学系统，使上述第一分支信号光和上述参照光相干涉，生成相位关系相互不同的三个以上的干涉光；第二干涉光学系统，使上述第二分支信号光和上述参照光相干涉，生成相位关系相互不同的三个以上的干涉光；第一检测部，检测由上述第一干涉光学系统生成的干涉光；第二检测部，检测由上述第二干涉光学系统生成的干涉光；以及信号处理部，对从上述第一检测部和第二检测部输出的信号进行运算。