发明名称 |
一种超声键合压力的识别方法 |
摘要 |
一种超声键合压力的识别方法,属于超声键合技术领域,键合压力的增加,超声电压包络幅值逐步增大,而电流包络幅值逐步减小,根据其相互变化建立公式评估键合压力;键合压力的变化从0.2N到0.7N依次增加,间隔为0.1N。一共安排了6组实验,其它3个工艺参数固定为:键合时间:15ms,超声功率:25mW,加载温度:200℃。<img file="DDA0000466495330000011.GIF" wi="338" he="140" />式中:F——键合压力评估值;n——数据长度;x<sub>i</sub>,y<sub>i</sub>——超声电压信号和电流信号,i=1,2,…,n;λ<sub>F</sub>——调整系数。实验时每组实验对应一个压力点,每组实验分别测量10个样本,通过多组数据的计算,取其平均值,得到均值λ<sub>F</sub>,最后就可以得到计算超声键合压力的计算公式值了。 |
申请公布号 |
CN103852203A |
申请公布日期 |
2014.06.11 |
申请号 |
CN201410053685.6 |
申请日期 |
2014.02.17 |
申请人 |
浙江海洋学院 |
发明人 |
冯武卫;李鹏鹏 |
分类号 |
G01L5/00(2006.01)I;G01R19/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01L5/00(2006.01)I |
代理机构 |
宁波市鄞州甬致专利代理事务所(普通合伙) 33228 |
代理人 |
王树镛 |
主权项 |
1.一种超声键合压力的识别方法,其特征在于:键合压力的增加,超声电压包络幅值逐步增大,而电流包络幅值逐步减小,根据其相互变化建立公式评估键合压力;键合压力的变化从0.2N到0.7N依次增加,间隔为0.1N。一共安排了6组实验,其它3个工艺参数固定为:键合时间:15ms,超声功率:25mW,加载温度:200℃。<maths num="0001"><![CDATA[<math><mrow><mi>F</mi><mo>=</mo><mfrac><msub><mi>λ</mi><mi>F</mi></msub><mi>n</mi></mfrac><munderover><mi>Σ</mi><mrow><mi>i</mi><mo>=</mo><mn>1</mn></mrow><mi>n</mi></munderover><msub><mi>x</mi><mi>i</mi></msub><mo>/</mo><msub><mi>y</mi><mi>i</mi></msub></mrow></math>]]></maths>式中:F——键合压力评估值;n——数据长度;x<sub>i</sub>,y<sub>i</sub>——超声电压信号和电流信号,i=1,2,…,n;λ<sub>F</sub>——调整系数。实验时每组实验对应一个压力点,每组实验分别测量10个样本,通过多组数据的计算,取其平均值,得到均值λ<sub>F</sub>,最后就可以得到计算超声键合压力的计算公式值了。 |
地址 |
316000 浙江省舟山市定海区文化路105号 |