发明名称 太阳能电池用基板的表面处理方法
摘要 本发明涉及一种太阳能电池用基板的表面处理方法。根据本发明的表面处理方法,对于太阳能电池用基板进行第一湿式蚀刻工序、反应离子蚀刻工序及第二湿式蚀刻工序,以在基板表面上形成金字塔结构。这种金字塔结构降低光反射率,以提高太阳能电池的光吸收效率。根据本发明,能够不受结晶的种类和方向性的限制,而有效地对类单晶基板进行表面处理,从而提高太阳能电池的效率。
申请公布号 CN103849937A 申请公布日期 2014.06.11
申请号 CN201310488489.7 申请日期 2013.10.17
申请人 韩化石油化学株式会社 发明人 尹起燦;郭将荣;金起弘;金鍊起;李秉喆;崔锺亨;韩奭奎;洪定义
分类号 C30B33/10(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 C30B33/10(2006.01)I
代理机构 北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 代理人 朱梅;张皓
主权项 一种太阳能电池用基板的表面处理方法,包括以下步骤:对于太阳能电池用基板进行第一湿式蚀刻;进行反应离子蚀刻;以及进行第二湿式蚀刻。
地址 韩国首尔