发明名称 评估物体的方法和系统
摘要 本发明提供了一种用于评估物体的方法、系统和计算机程序产品;该方法包括:(i)获得物体的区域的图像;其中该区域包括多个阵列的重复结构元件,所述多个阵列的重复结构元件至少部分地由至少一组非重复区域围绕;其中属于单一组非重复区域的非重复区域理想地为彼此相同;其中所述非重复区域以重复方式排列;以及(ii)响应第一子区域的图像信息与紧邻所述第一子区域的第二子区域的图像信息之间的比较来提供评估结果;其中所述第一子区域包括第一阵列重复结构元件和第一非重复区域;其中所述第二子区域包括第二阵列重复结构元件和第二非重复区域。
申请公布号 CN101566585B 申请公布日期 2014.06.11
申请号 CN200810094601.8 申请日期 2008.04.22
申请人 以色列商·应用材料以色列公司 发明人 多德新·尼尔·本-戴维;加特·维里德
分类号 G01N21/88(2006.01)I 主分类号 G01N21/88(2006.01)I
代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人 徐金国
主权项 一种用于评估物体的方法;该方法包括:获得物体的区域的图像;其中该区域包括至少部分地由至少一组非重复区域围绕的多个阵列的重复结构元件;其中属于单一组非重复区域的非重复区域理想地为彼此相同;其中非重复区域以重复方式排列;以及响应第一子区域的图像信息与紧邻该第一子区域的第二子区域的图像信息之间的比较来提供评估结果;其中所述第一子区域包括第一阵列的重复结构元件和第一非重复区域;其中所述第二子区域包括第二阵列的重复结构元件和第二非重复区域;并且其中所述比较包括以下至少一个:比较靠近所述第一阵列的重复结构元件的边缘的结构元件的图像信息与靠近所述第二阵列的重复结构元件的对应边缘的对应元件的图像信息;以及比较包含在所述第一阵列的重复结构元件的外部分中的第一重复元件的图像信息与包括在所述第二阵列的重复结构元件的外部分中的对应重复元件的图像信息。
地址 以色列雷霍沃特