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经营范围
发明名称
正型感光性树脂组成物、图案硬化膜的制造方法及电子零件
摘要
申请公布号
TWI440980
申请公布日期
2014.06.11
申请号
TW100102036
申请日期
2011.01.20
申请人
日立化成杜邦微系统股份有限公司 日本
发明人
小谷真志;大江匡之;绀野;峯岸知典;小野敬司
分类号
G03F7/039;G03F7/016;H01L21/027;H01L21/312
主分类号
G03F7/039
代理机构
代理人
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1
主权项
地址
日本
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