发明名称 检测样品表面缺陷之检测系统及其检测方法
摘要
申请公布号 TWI440844 申请公布日期 2014.06.11
申请号 TW101139153 申请日期 2012.10.23
申请人 财团法人国家实验研究院 台北市大安区和平东路2段106号3楼;麦丰密封科技股份有限公司 新北市五股区五权五路41号 发明人 洪敏伟;蔡心怡;黄国政;黄俊尧
分类号 G01N21/95 主分类号 G01N21/95
代理机构 代理人 李国光 新北市中和区中正路928号5楼;张仲谦 新北市中和区中正路928号5楼
主权项
地址 新北市五股区五权五路41号