基板处理装置及基板处理方法,申请号TW099134365-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	基板处理装置及基板处理方法
摘要
申请公布号	TWI441274	申请公布日期	2014.06.11
申请号	TW099134365	申请日期	2010.10.08
申请人	ＳＮＵ精密股份有限公司南韩	发明人	朴昞慜;孔斗源;孙成官;赵晃新;郑成在;朴喜载
分类号	H01L21/67;H01L21/30	主分类号	H01L21/67
代理机构		代理人	陈翠华台北市松山区南京东路3段261号6楼
主权项
地址	南韩

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