| 发明名称 |
应用高能脉冲磁管喷溅于三维晶圆封装中的直通晶矽通孔金属化 |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
TWI440731 |
申请公布日期 |
2014.06.11 |
| 申请号 |
TW097141136 |
申请日期 |
2008.10.27 |
| 申请人 |
ＯＣ欧瑞康巴尔斯公司 列支敦斯登 |
发明人 |
委区尔 朱根;卡帝拉 史坦斯拉 |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/54;H01L23/52 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼 |
| 主权项 |
|
| 地址 |
列支敦斯登 |
