发明名称 |
边缘可拼接的光罩 |
摘要 |
本实用新型是一种边缘可拼接的光罩,包括上边(1)、下边(2)、短边Ⅰ(3)、短边Ⅱ(4)、短边Ⅲ(5)和模壳(6),光罩为一体成型,上边至短边Ⅰ距离为12μm至16μm,短边Ⅰ至短边Ⅱ距离为10μm至14μm,短边Ⅱ至短边Ⅲ距离为12μm至16μm,短边Ⅲ至下边的距离为11μm至15μm,模壳的直径为11.5μm,模壳之间的间距为3.5μm;保证图形和图形的边缘的重叠结合部位形成的图形不容易发成偏移,实现单位面积上的图形完整性。 |
申请公布号 |
CN203644820U |
申请公布日期 |
2014.06.11 |
申请号 |
CN201320879744.6 |
申请日期 |
2013.12.30 |
申请人 |
徐州同鑫光电科技有限公司 |
发明人 |
崔相玉 |
分类号 |
H01L33/58(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/58(2010.01)I |
代理机构 |
徐州支点知识产权代理事务所(普通合伙) 32244 |
代理人 |
唐猛 |
主权项 |
一种边缘可拼接的光罩,包括上边(1)、下边(2)、短边Ⅰ(3)、短边Ⅱ(4)、短边Ⅲ(5)和模壳(6),其特征在于,光罩为一体成型,上边(1)至短边Ⅰ(3)距离为12μm至16μm,短边Ⅰ(3)至短边Ⅱ(4)距离为10μm至14μm,短边Ⅱ(4)至短边Ⅲ(5)距离为12μm至16μm,短边Ⅲ(5)至下边(2)的距离为11μm至15μm,模壳(6)的直径为11.5μm,模壳(6)之间的间距为3.5μm。 |
地址 |
221000 江苏省徐州市经济开发区杨山路88号 |