发明名称 边缘可拼接的光罩
摘要 本实用新型是一种边缘可拼接的光罩,包括上边(1)、下边(2)、短边Ⅰ(3)、短边Ⅱ(4)、短边Ⅲ(5)和模壳(6),光罩为一体成型,上边至短边Ⅰ距离为12μm至16μm,短边Ⅰ至短边Ⅱ距离为10μm至14μm,短边Ⅱ至短边Ⅲ距离为12μm至16μm,短边Ⅲ至下边的距离为11μm至15μm,模壳的直径为11.5μm,模壳之间的间距为3.5μm;保证图形和图形的边缘的重叠结合部位形成的图形不容易发成偏移,实现单位面积上的图形完整性。
申请公布号 CN203644820U 申请公布日期 2014.06.11
申请号 CN201320879744.6 申请日期 2013.12.30
申请人 徐州同鑫光电科技有限公司 发明人 崔相玉
分类号 H01L33/58(2010.01)I 主分类号 H01L33/58(2010.01)I
代理机构 徐州支点知识产权代理事务所(普通合伙) 32244 代理人 唐猛
主权项 一种边缘可拼接的光罩,包括上边(1)、下边(2)、短边Ⅰ(3)、短边Ⅱ(4)、短边Ⅲ(5)和模壳(6),其特征在于,光罩为一体成型,上边(1)至短边Ⅰ(3)距离为12μm至16μm,短边Ⅰ(3)至短边Ⅱ(4)距离为10μm至14μm,短边Ⅱ(4)至短边Ⅲ(5)距离为12μm至16μm,短边Ⅲ(5)至下边(2)的距离为11μm至15μm,模壳(6)的直径为11.5μm,模壳(6)之间的间距为3.5μm。
地址 221000 江苏省徐州市经济开发区杨山路88号