制备无序合金微弹簧的曝光台

摘要

本实用新型公开了一种制备无序合金微弹簧的曝光台。弹簧结构为螺旋型，整体尺寸在百微米量级到毫米级别；材料为Ni-Nb基无序合金材料，杨氏模量大于180GPa，弹性极限大于2%。制备方法，1）制备一个PMMA光刻胶圆柱；2）将光刻胶圆柱夹持到曝光台上进行X-ray曝光；3）进行显影，得到显影后的制备弹簧的PMMA模具；4）用镍和铌金属在真空下氩气保护熔炼而成的靶材；5）通过磁控溅射制备无序合金薄膜层；6）释放得到无序合金微弹簧。本实用新型将X-ray光刻工艺与磁控溅射技术结合，突破了传统机械工艺制备亚毫米螺旋微型弹簧的尺寸瓶颈，填补了MEMS器件中无序合金螺旋微弹簧的空缺，拓展了3D金属微器件的加工思路，微弹簧表面平整光滑，形状理想。

主权项

一种用于制备无序合金微弹簧的曝光台，其特征在于，包括光刻胶圆柱（1）、带样品夹的旋转电机（2）、掩膜板（3）、步进电机（4）、掩膜板夹具座（5）、夹具（6），光刻胶圆柱（1）夹持在带样品夹的旋转电机（2）上，可匀速转动, 掩膜板（3）利用夹具（6）固定在掩膜板夹具座（5）上，步进电机（4）刚性联接掩膜板夹具座（5），可驱动掩膜板（3）直线运动, 掩膜板（3）中心透光小孔与光刻胶圆柱（1）中心处等高。