用于产生成束的等离子体束的方法和射束发生器

摘要

本发明涉及一种用于在流动的工作气体中通过在两个彼此相距地布置在工作气体流内的电极之间的电弧放电而产生等离子体束的方法和装置，其中，产生带有脉冲频率和用于电弧放电的点火电压的电压脉冲序列，该电压脉冲序列分别在两个依次的电压脉冲之间使电弧熄灭。

主权项

射束发生器，所述射束发生器用于在输送流动的工作气体的情况下通过电弧放电产生成束的等离子体束，所述射束发生器具有两个在工作气体流内彼此相距地布置的电极以及用于在所述电极之间产生电压的电压源，其中，所述电压源产生带有用于电弧放电的点火电压和脉冲频率的电压脉冲序列，所述电压脉冲序列分别在两个依次的电压脉冲之间使电弧熄灭，其特征在于，‑一个电极构造为棒形电极（22），且一个电极构造为呈环形的电极（23）；‑与所述棒形电极（22）同心地布置有与所述棒形电极绝缘的由导电材料构成的空心圆柱形罩（7）；‑在所述空心圆柱形罩的一个端侧上布置有所述呈环形的电极（23），所述呈环形的电极界定喷嘴口（41），所述喷嘴口的直径小于所述空心圆柱形罩的直径；以及‑在所述空心圆柱形罩的相反置的端侧上布置有用于所述工作气体（3）的输送器（24）‑并且在所述喷嘴口（41）的区域内布置有用于供给粉末的至少一个入口（37）。