一种平面光波导分路器晶圆片

摘要

本发明提供了一种平面光波导分路器晶圆片，采用梯形芯片形状的平面光波导分路器芯片，并在晶圆片上依次两两倒置排列。本发明一种平面光波导分路器晶圆片，改善了由于结构造成的工艺不均匀性，使得应力大为降低，器件质量得到了提高；在相同尺寸的晶圆片上，排列更多的芯片单元，且通道数越多，晶圆利用率越高，提高了单个晶圆片的芯片产值，降低了生产成本；另外，采用二氧化硅作为衬底，省去了传统半导体工艺先在硅衬底上生长二氧化硅下包层的步骤，缩短了产品的生长周期，降低了产品成本，而且衬底和下包层为同种材料，消除了衬底对器件的应力影响，降低了器件的偏振相关损耗。

主权项

一种平面光波导分路器晶圆片，包括平面光波导分路器芯片，其特征在于：所述平面光波导分路器芯片具体为采用梯形芯片形状的平面光波导分路器芯片，并在晶圆片上依次两两倒置排列；所述平面光波导分路器芯片的梯形芯片形状为等腰梯形，上底作为输入端，下底作为输出端。