MEMS数字地震检波器

摘要

本发明涉及一种MEMS数字地震检波器，为解决现有地震检波器灵敏度和抗干扰能力差问题，其由采集地震信号的MEMS地震传感器，用于低噪音电容信号放大和模拟力反馈的弱信号检测及反馈电路，将来自弱信号检测及反馈电路的模拟地震信号转化成数字信号的数字化单元，用于控制数字化单元、通信单元和供电电路的控制电路，用于接收主机系统控制命令和完成采集数据上传的数据通信单元和用于向前述五单元供电的供电电路六大单元组成。所述MEMS地震传感器和弱信号检测及反馈电路直接连接并集成为一体。所述控制电路为嵌入式CPU。所述MEMS地震传感器采用三层硅片三明治结构，采用八梁支撑、上下对称的双面梁质量块结构单片制作。其具有重量轻、体积小、灵敏度高、响应速度快、频带宽、动态范围大、畸变小、小信号识别能力和抗干扰能力强，可靠性好的优点。

主权项

一种MEMS数字地震检波器，其特征在于由采集地震信号的MEMS地震传感器，用于低噪音电容信号放大和模拟力反馈的弱信号检测及反馈电路，将来自弱信号检测及反馈电路的模拟地震信号转化成数字信号的数字化单元，用于控制数字化单元、通信单元和供电电路的控制电路，用于接收主机系统控制命令和完成采集数据上传的数据通信单元和用于向前述五单元供电的供电电路六大单元组成，采用响应速度快、电路结构简单的模拟电路力反馈方式，所述控制电路为嵌入式CPU；采用ASIC电路先完成低噪音电容信号放大和模拟力反馈，然后加接地震勘探专用24位的A／D转换电路方式；所述MEMS地震传感器采用三层硅片三明治结构，采用八梁支撑、上下对称的双面梁质量块结构单片制作。