一种成像光谱滤光片及其制备技术

摘要

一种成像光谱滤光片，它包括基片、像素层，其要点在于在基片的正、反两表面都覆盖有像素层，正、反两表面的像素层均为干涉薄膜系或一面为干涉薄膜系、另一面为彩色感光胶的组合。像素层具有二维周期结构，相邻的n个波段像素为一个周期，分别沿滤光片表面的X轴方向、Y轴方向重复排列，直至覆盖探测器的所有工作像素，本发明的优点在于将像素层分解到基片的两个表面，减少像素元中膜系的层数，降低膜系的总厚度，结构紧凑，有效地克服了陷阱效应，在基片的两个表面同时镀膜使其应力基本平衡，基片不会变形，保证了膜层的精度，减少时间，提高生产效率，独特的离子束溅射双面镀膜机设计方案和磁控溅射双面镀膜机设计方案。

主权项

一种成像光谱滤光片，它包括基片（1）、像素层（2），其特征在于：在基片（1）的正、反两表面都覆盖有像素层（2），所述的像素层（2）具有二维周期结构，相邻的n个波段像素为一个周期，n为大于或等于2的自然数，所述的二维周期结构是指在滤光片表面沿X或Y轴方向成像光谱滤光片按一定排列方式呈周期性排列，每个周期中包含n个不同的中心透过波长，所述每个周期波段像素只允许相应的一组波段的光通过，这组n个波段像素的几何形状和尺寸都是一样的，周期性排列的波段像素形成重复单元，该重复单元分别沿滤光片表面的X轴方向、Y轴方向重复排列，直至覆盖探测器的所有工作像素，所述周期性排列的行列数可以是几百或几千或更多。