发明名称 半导体装置及其制造方法
摘要 本发明公开了一种半导体装置及其制造方法。该半导体装置包括:半导体结构,在其一个表面上形成有用于暴露焊盘的开口;第一导电层,形成在开口中以使半导体结构的一个表面更加均匀;以及导电图案,形成在半导体结构的部分的一个表面上,该一个表面包括第一导电层。
申请公布号 CN103855124A 申请公布日期 2014.06.11
申请号 CN201310597577.0 申请日期 2013.11.22
申请人 爱思开海力士有限公司 发明人 金钟薰;裴弼淳
分类号 H01L23/498(2006.01)I;H01L21/48(2006.01)I 主分类号 H01L23/498(2006.01)I
代理机构 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人 邱军
主权项 一种半导体装置,包括:半导体结构,在其一个表面上形成有用于暴露焊盘的开口;第一导电层,形成在该开口中;以及导电图案,形成在该半导体结构的部分的该一个表面上,该一个表面包括该第一导电层,其中该半导体结构的该一个表面和该第一导电层基本上共面。
地址 韩国京畿道