一种相态检测系统及方法

摘要

本发明公开了一种相态检测系统及方法。该系统包括静电探针、支撑件、传感器、处理器、脉冲发生器和直流稳压电源；静电探针由支撑件固定呈悬挂状态，脉冲发生器的一端接地，另一端连接支撑件，传感器的一端连接支撑件，另一端连接处理器，直流稳压电源的一端接地。测试时，沉积于衬底上的待测相变材料置于静电探针下方；直流稳压电源的另一端连接衬底，提供偏置电压V_bias以改变衬底电位。本发明能检测不同尺度相变材料的相态，尤其是纳米尺度相变材料的相态，还能直观地反映出相变材料相态在空间分布的特点。此外，检测方法简单、无需制样且为非破坏性测试，适用范围广。

主权项

一种相态检测系统，其特征在于，包括静电探针（13）、支撑件（14）、传感器（15）、处理器（16）、脉冲发生器（17）和直流稳压电源（18）；所述静电探针（13）由所述支撑件（14）固定呈悬挂状态，所述脉冲发生器（17）的一端接地，另一端连接所述支撑件（14），所述传感器（15）的一端连接所述支撑件（14），另一端连接所述处理器（16），所述直流稳压电源（18）的一端接地；测试时，沉积于衬底（11）上的待测相变材料（12）置于所述静电探针（13）的下方；所述直流稳压电源（18）的另一端连接衬底（11），提供偏置电压V_bias以改变衬底（11）的电位；所述脉冲发生器（17）通过所述支撑件（14）在所述静电探针（13）和衬底（11）间施加一定频率的交流电V_ac，使所述静电探针（13）在静电引力的作用下促使所述支撑件（14）发生形变；所述传感器（15）感知所述支撑件（14）的形变，并将形变信号输出到所述处理器（16）；所述处理器（16）根据形变信号计算静电引力F，得到偏置电压V_bias和静电引力F的关系曲线，由此求得待测相变材料（12）的功函数，再通过功函数比对，判断待测相变材料（12）的相态。