机床窗部的气密状态检测方法及气密状态检测装置

摘要

本发明提供一种检测机床的窗部的气密性是否良好地保持的方法及装置。气密状态检测装置包括：压力传感器，对窗部的空间内的压力进行检测；以及判别部，以由压力传感器检测出的压力值为基础，判别空间内的气密状态是否恰当，并将该判别结果输出至外部。该气密状态检测装置随时或定期利用压力传感器对作为初始状态处于加压或减压状态的窗部的空间内的压力进行检测，判别部根据检测出的压力的变动状态等来判别窗部的气密状态是否恰当。

主权项

一种机床窗部的气密状态检测方法，是在包括具有窗部的盖体在内的机床中，对由隔开一定的间隔而呈气密状接合的两块透明或半透明的窗板构成的所述窗部的气密状态进行检测的方法，其特征在于：将所述窗板间的空间内设为加压或减压状态，对所述空间内的压力进行检测，以所述检测出的压力为基础，判别所述空间内的气密状态是否恰当。