感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法以及印刷电路板的制造方法

摘要

本发明为感光性树脂组合物、感光性元件、抗蚀图案的形成方法以及印刷电路板的制造方法。本发明的感光性树脂组合物含有：(A)具有下述通式(Ⅰ)表示的二价基团和下述通式(Ⅱ)表示的二价基团和下述通式(Ⅲ)表示的二价基团和下述通式(Ⅳ)表示的二价基团、且重均分子量为20000～50000的粘合剂聚合物，(B)光聚合性化合物，以及(C)光聚合引发剂，式(Ⅰ)、式(Ⅱ)、式(Ⅲ)及式(Ⅳ)中，R¹、R³、R⁵及R⁶分别独立地表示氢原子或甲基，R²及R⁴分别独立地表示碳原子数1～3的烷基、碳原子数1～3的烷氧基、羟基或卤原子，R⁷表示碳原子数1～6的烷基，m或n分别独立地表示0～5的整数，m或n为2～5时，多个R²或R⁴相互可以相同或不同。

主权项

1.一种感光性树脂组合物，其含有：（A）具有下述通式（Ⅰ）表示的二价基团和下述通式（Ⅱ）表示的二价基团和下述通式（Ⅲ）表示的二价基团和下述通式（Ⅳ）表示的二价基团、且重均分子量为20000～50000的粘合剂聚合物，（B）光聚合性化合物，以及（C）光聚合引发剂，式（Ⅰ）、式（Ⅱ）、式（Ⅲ）及式（Ⅳ）中，R¹、R³、R⁵及R⁶分别独立地表示氢原子或甲基，R²及R⁴分别独立地表示碳原子数1～3的烷基、碳原子数1～3的烷氧基、羟基或卤原子，R⁷表示碳原子数1～6的烷基，m或n分别独立地表示0～5的整数，m或n为2～5时，多个R²或R⁴相互可以相同或不同，其中，所述（B）光聚合性化合物含有在分子内具有乙二醇链和丙二醇链这两者的聚亚烷基二醇二（甲基）丙烯酸酯。