| 发明名称 | 一种碳化硅晶片微管缺陷检测装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及晶片检测领域，具体涉及一种腐蚀后碳化硅晶片微管缺陷检测装置。该装置由下至上包括底座和光敏传感器，光敏传感器上连接有图形信号传输线；底座上设有光源，光源上方设有样品台，样品台中心设有一与光源相匹配的光源窗口。本实用新型结构简单，实现了碳化硅晶片微管缺陷腐蚀坑的放大和传递，使其分辨更清晰，计数更加准确、快速，可以广泛推广和应用。 | ||
| 申请公布号 | CN203643357U | 申请公布日期 | 2014.06.11 |
| 申请号 | CN201420003761.8 | 申请日期 | 2014.01.03 |
| 申请人 | 山东天岳先进材料科技有限公司 | 发明人 | 宁敏;刘云青;张红岩;高玉强 |
| 分类号 | G01N21/88(2006.01)I | 主分类号 | G01N21/88(2006.01)I |
| 代理机构 | 济南舜源专利事务所有限公司 37205 | 代理人 | 苗峻 |
| 主权项 | 一种碳化硅晶片微管缺陷检测装置，其特征在于：该装置由下至上包括底座（1）和光敏传感器（2），光敏传感器（2）上连接有图形信号传输线（3）；底座（1）上设有光源（4），光源（4）上方设有样品台（5），样品台（5）中心设有一与光源（4）相匹配的光源窗口（6）。 | ||
| 地址 | 250000 山东省济南市历下区高新开发区新泺大街2008号银荷大厦3-409 | ||