| 发明名称 |
研磨装置及研磨方法 |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
TWI440525 |
申请公布日期 |
2014.06.11 |
| 申请号 |
TW097125167 |
申请日期 |
2008.07.04 |
| 申请人 |
东芝股份有限公司 日本;荏原制作所股份有限公司 日本 |
发明人 |
福岛大;重田厚;高桥圭瑞;伊藤贤也;关正也;草宏明 |
| 分类号 |
B24B21/08;B24B9/00;H01L21/304 |
主分类号 |
B24B21/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼 |
| 主权项 |
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| 地址 |
日本 |
