发明名称 |
一种制备像素化的闪烁材料膜的方法 |
摘要 |
本发明提供了一种制备像素化的闪烁材料膜的方法,所述方法包括以下步骤:将掩模版叠加到基板上,所述掩模版中包括多个贯穿该掩模版的开口;通过所述掩模版的开口在所述基板上沉积闪烁材料,从而在所述基板上形成多个分隔开的所述闪烁材料的像素单元。本发明还提供了由该方法制得的包括像素化的闪烁材料膜的组件。 |
申请公布号 |
CN103849832A |
申请公布日期 |
2014.06.11 |
申请号 |
CN201210510007.9 |
申请日期 |
2012.12.03 |
申请人 |
中国科学院上海硅酸盐研究所 |
发明人 |
刘光辉;刘茜;周真真;魏钦华;杨华 |
分类号 |
C23C14/04(2006.01)I;C23C16/04(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/04(2006.01)I |
代理机构 |
上海专利商标事务所有限公司 31100 |
代理人 |
江磊 |
主权项 |
一种制备像素化的闪烁材料膜的方法,所述方法包括以下步骤:将掩模版叠加到基板上,所述掩模版中包括多个贯穿该掩模版的开口;通过所述掩模版的开口在所述基板上沉积闪烁材料,从而在所述基板上形成多个分隔开的所述闪烁材料的像素单元。 |
地址 |
200050 上海市长宁区定西路1295号 |