发明名称 一种制备像素化的闪烁材料膜的方法
摘要 本发明提供了一种制备像素化的闪烁材料膜的方法,所述方法包括以下步骤:将掩模版叠加到基板上,所述掩模版中包括多个贯穿该掩模版的开口;通过所述掩模版的开口在所述基板上沉积闪烁材料,从而在所述基板上形成多个分隔开的所述闪烁材料的像素单元。本发明还提供了由该方法制得的包括像素化的闪烁材料膜的组件。
申请公布号 CN103849832A 申请公布日期 2014.06.11
申请号 CN201210510007.9 申请日期 2012.12.03
申请人 中国科学院上海硅酸盐研究所 发明人 刘光辉;刘茜;周真真;魏钦华;杨华
分类号 C23C14/04(2006.01)I;C23C16/04(2006.01)I 主分类号 C23C14/04(2006.01)I
代理机构 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人 江磊
主权项 一种制备像素化的闪烁材料膜的方法,所述方法包括以下步骤:将掩模版叠加到基板上,所述掩模版中包括多个贯穿该掩模版的开口;通过所述掩模版的开口在所述基板上沉积闪烁材料,从而在所述基板上形成多个分隔开的所述闪烁材料的像素单元。
地址 200050 上海市长宁区定西路1295号