发明名称 |
一种用于洁净室的新风机组系统 |
摘要 |
本实用新型提供一种用于洁净室的新风机组系统,至少包括:进风和出风风阀、过滤器、预热盘管、预冷盘管、加湿器、再冷盘管、再热盘管、动力系统。其中,预热盘管出水管道和预热盘管进水管道连接并且连接处设置有气动控制阀;预热盘管出水管道和再热盘管进水管道连接并且连接处设置有气动控制阀;再热盘管出水管道和预热盘管进水管道连接并且连接处设置有气动控制阀。通过增加管道来连通预热盘管和再热盘管,使得在外气温度大于20℃、相对湿度大于40%的情况下,开启预热盘管,减少预冷盘管制冷所需耗电量,同时减少再热盘管消耗蒸汽,充分进行热回收达到节能效果,且成本小,结构简单。 |
申请公布号 |
CN203642387U |
申请公布日期 |
2014.06.11 |
申请号 |
CN201320879167.0 |
申请日期 |
2013.12.27 |
申请人 |
中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
发明人 |
王琳;陈玉峰;周金锋;张靖华;朱琪;王志诚 |
分类号 |
F24F3/00(2006.01)I;F24F11/02(2006.01)I;F24F13/28(2006.01)I |
主分类号 |
F24F3/00(2006.01)I |
代理机构 |
上海光华专利事务所 31219 |
代理人 |
李仪萍 |
主权项 |
一种用于洁净室的新风机组系统,其特征在于,至少包括: 进风风阀以及出风风阀; 位于所述进风风阀和出风风阀之间的预热盘管; 连接预热盘管的预热盘管出水管道; 连接预热盘管的预热盘管进水管道; 预热盘管出水管道和预热盘管进水管道采用第一气动控制阀连接; 再热盘管; 连接再热盘管的再热盘管进水管道; 连接再热盘管的再热盘管出水管道; 预热盘管出水管道和再热盘管进水管道采用第二气动控制阀连接; 再热盘管出水管道和预热盘管进水管道连接; 再热盘管出水管道和预热盘管进水管道连接处设置有第三气动控制阀。 |
地址 |
100176 北京市大兴区经济技术开发区(亦庄)文昌大道18号 |