一种DDR马达构成的机械手旋转机构

摘要

本实用新型属半导体及LED制造领域，具体涉及一种DDR马达构成的机械手旋转机构。基座3、机械臂2、DDR马达1，其中，DDR马达1固定在基座3上，机械臂2与DDR马达1输出连接。其中，机械臂2为两个，两个机械臂2一端连接在一起形成120度夹角，机械臂2连接在一起的一端与DDR马达1输出连接，DDR马达1带动机械臂2在360度范围内转动，其中，机械臂2末连接的一端各有一真空吸嘴8，真空吸嘴8用于吸附晶圆或基片。使用本实用新型的有益效果是：1.以较低的成本，满足客户精度要求较低的需求；2.减少污染，提高效率。

主权项

一种DDR马达构成的机械手旋转机构，包括：基座、机械臂、DDR马达，其特征在于，所述DDR马达固定在所述基座上，所述机械臂在所述DDR马达上部且所述机械臂与所述DDR马达输出连接。