一种带有排气的冷却水供给装置

摘要

本实用新型公开了一种带有排气的冷却水供给装置，供给装置包括主管路，一端通过总控阀门连接至工厂冷却水供给端，另一端连接一排气支路；主管路并联有若干冷却水输出口，冷却水输出口连接冷却水支路，冷却水支路通过阀门连接至各冷却点的供水管路上；排气支路可作为备用冷却水支路，通过阀门连接至所需冷却点的供水管路上。本实用新型用于半导体热处理设备的水冷系统，通过控制模块执行对各阀门的启闭组合模式，可及时排出管路中累积的空气，有效避免了残留空气对冷却水的精确控制造成的不利影响。本装置结构简单，易于操作，成本低廉，具备很好的实际推广价值。

主权项

一种带有排气的冷却水供给装置，包括连接至工厂冷却水供给端的冷却水供给管路，其特征在于，所述供给管路包括一供给主管路，所述主管路一端通过总控阀门连接至冷却水供给端，另一端连接一排气支路；所述主管路并联有若干冷却水输出口，所述冷却水输出口连接冷却水支路，所述冷却水支路通过阀门连接至各冷却点的供水管路上；所述排气支路可作为备用冷却水支路，通过阀门连接至所需冷却点的供水管路上；其中，各所述阀门在不同的工作状态下具有相应的启闭组合模式，各所述阀门启闭组合模式由控制模块执行。