压电元件及其制造方法、压电致动器、液滴喷射头及装置

摘要

本发明提供一种压电元件及其制造方法、压电致动器、液滴喷射头及装置，能够增大电极材料选择的自由度。本发明的压电元件包括：形成在基板上的第一电极；形成在上述第一电极上的压电体层；形成在上述压电体层上的第二电极；形成为至少覆盖上述第一电极的侧面的树脂层；上述第一电极具有由贱金属构成的金属层和防氧化层，上述防氧化层设置在上述金属层与上述压电体层之间，以使上述金属层与上述压电体层不接触。

主权项

一种压电元件，其特征在于，包括：形成在基板上的第一电极；形成在上述第一电极上的压电体层；形成在上述压电体层上的第二电极；形成为至少覆盖上述第一电极的侧面的树脂层；上述第一电极具有包含从由W、Ta、Hf、Mo、Nb、Zr、Ni、Co、Fe、Cr、V以及Ti构成的组中选择的至少1种金属材料的金属层和防氧化层，上述防氧化层设置在上述金属层与上述压电体层之间，以使上述金属层与上述压电体层不接触。