Filme von Nitriden von Gruppe-13-Elementen und geschichteter Körper, der dieselben beinhaltet

摘要

Ein Film 3 eines Nitrids eines Gruppe-13-Elements ist auf einem Impfkristallsubstrat 11 durch einen Flussmittelprozess von einer Schmelze, die ein Flussmittel und ein Gruppe-13-Element enthält, unter Stickstoff-enthaltender Atmosphäre gewachsen. Der Film 3 eines Nitrids eines Gruppe-13-Elements beinhaltet eine Einschluss-verteilte Schicht 3a in einem Bereich, der durch 50μm oder weniger von einer Grenzfläche des Films eines Nitrids eines Gruppe-13-Elements auf der Seite des Impfkristallsubstrats 11 beabstandet ist und Einschlüsse enthält, die von Komponenten der Schmelze abstammen, und eine auf der Schicht 3a bereitgestellte Einschluss-verminderte Schicht 3b, in der der Einschluss vermindert ist.