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Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Ansteuerung einer Resonanzladeschaltung für eine Vorrichtung zur Erzeugung kurzwelliger Strahlung auf Basis eines gepulst erzeugten Entladungsplasmas sowie eine Vorrichtung zur Ansteuerung einer Resonanzladeschaltung (1) für eine Vorrichtung zur Erzeugung kurzwelliger Strahlung auf Basis eines gepulst erzeugten Entladungsplasmas. In dem erfindungsgemäßen Verfahren werden Schaltzeitpunkte der Resonanzladeschaltung in einem nicht-zeitkritischen Verfahrensabschnitt mittels einer Simulation ermittelt und wiederholt abrufbar gespeichert. In einem zeitkritischen Verfahrensabschnitt werden Messwerte der Resonanzladeschaltung in Echtzeit ermittelt. Es wird mindestens ein zweiter Schaltzeitpunkt (t2), zu dem ein Entladeschalter (12, 13) der Resonanzladeschaltung (1) angesteuert wird, um zu einem Zündzeitpunkt (t3) eine Entladungsspannung (Uwanted) zur Erzeugung des Entladungsplasmas bereitzustellen und der Zündzeitpunkt (t3), zu dem ein Entladungsplasma erzeugt wird, berechnet. Die erfindungsgemäße Vorrichtung enthält eine erste Eingabeeinheit (14), eine erste Simulationseinheit (16), eine erste Regressionseinheit (18), eine erste Messwerteinheit (20), eine erste Evaluierungseinheit (22) und eine Steuereinheit (24) zur Ansteuerung eines Entladeschalters (12, 13) der Resonanzladeschaltung (1). |
