| 摘要 |
Messeinrichtung (1), insbesondere zur Formmessung und/oder Rauheitsmessung von Werkstückoberflächen, mit einer konfokalen Sensoranordnung (3), die wenigstens eine Lichtquelle (19) und ein Objektiv (32), das wenigstens zwei voneinander räumlich beabstandete Brennpunkte (35, 36) erzeugt, sowie wenigstens zwei Photoempfänger (25, 27) aufweist, die den unterschiedlichen Brennpunkten (35, 36) zugeordnet sind, mit einem Arm (4), der die Sensoranordnung (3) trägt, und der an einem Drehpunkt (5) schwenkbar an einem Schlitten (6) gelagert ist, mit einer Führungseinrichtung (9), an der der Schlitten (6) ungefähr in Längsrichtung des Arms (4) und quer zu einer Messrichtung (8) bewegbar ist, mit einer ersten Positioniereinrichtung (13) zur kontrollierten Verschwenkung des Arms (4) um den Drehpunkt (5), mit einem Positionssensor (15) zur präzisen Erfassung der Schwenkposition des Arms (4), mit einer Rechenschaltung (28, 38), an deren Eingänge (39, 41) die Photoempfänger (25, 27) angeschlossen sind, und die an ihrem Ausgang (42) ein Differenzsignal (UA) erzeugt, das die Differenz aus den von den wenigstens zwei Photoempfängern (25, 27) gelieferten Signalen ist und das zur Abstandsmessung dient, wobei das Differenzsignal (UA) als Nachführsignal für die erste Positioniereinrichtung (13) dient derart, dass die Werkstückoberfläche innerhalb des Messbereichs (ΔF) der Sensoranordnung (3) gehalten wird. |
