发明名称 COMBINATORIAL SPIN DEPOSITION
摘要 A spin deposition apparatus includes a deposition mask configured to be arranged proximate a target substrate. The deposition mask includes at least one fluid reservoir offset from a rotational axis of the deposition mask and configured to hold fluid for dispersal on a portion of a surface of the target substrate.
申请公布号 WO2014085307(A2) 申请公布日期 2014.06.05
申请号 WO2013US71628 申请日期 2013.11.25
申请人 INTERMOLECULAR, INC. 发明人 ENDO, RICHARD R.;KELEKAR, RAJESH
分类号 B05D1/00;B05C11/08 主分类号 B05D1/00
代理机构 代理人
主权项
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